欢迎仪表云!
专注压力,温度,液位测量仪器仪表云联盟技术支持
全国咨询热线:15249240078
联系方式
029-xxxxxxxx

手机:15249240078

邮箱:macyomin@163.com

QQ:975660740

地址:西安市高新区旺座现代城

您的位置: 首页 > 新闻资讯 > 行业新闻
行业新闻

压力变送器的未来方向是什么?是单晶硅压力变送器吗?

时间:2022-06-20 21:57:36 作者:admin 点击:

单晶硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的。在硅膜片特定方向上扩散4个等值的半导体电阻,并连接成惠斯通电桥,如图3.1所示,作为力――电变换器的敏感元件。当膜片受到外界压力作用,电桥失去平衡时,若对电桥加激励电源(恒流和恒压),便可得到与被测压力成正比的输出电压,从而达到测量压力的目的。
未来
·压阻式压力传感器都由3个基本部分组成(图3.2)基体﹐直接承受孩测应力;②波纹膜片﹐将被则应力传递到芯片。芯片是在硅弹性片上,用半导体制造技术在确定晶向制作相同的4个感压电阻﹐将他们连成惠斯通电桥构成了基本的压力敏感元件。
电容式变送器被测介质的两种压力通入高、低两个压力室,作用在敏感元件的两创隔离膜片上,通过隔离片和元件内的填充液
传送到测里膜片两侧。电容式压力变送器是由测里膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。当两两侧压力不一致时,致使膜片产生位移,其位移里和压力差成正比,故两侧电容量就不等,通过振荡和解调环节,转换成与压力成正比的信号。
单晶硅压力变送器
压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆H徒膜片〈N型)定城扩散4条Р杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对转也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻桥形成全桥。