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单晶硅压力变送器和硅压阻变送器的区别(实物图和结构图)

时间:2022-11-13 07:56:50 作者:admin 点击:

现在市面上较为流行的压力变送器种类较多,很多人认为在未来的发展趋势会以单晶硅压力变送器为基础,其实,这是在综合考虑它的测量原理和精确度和实用性而得出的,还有人会疑问它和硅压阻变送器有什么区别呢?这篇文章就带大家详细了解这两者的联系。

单晶硅压力变送器

采用单晶硅谐振传感器,在单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术,在单晶硅芯片表面的中心和边缘形成两个形状和尺寸相同的h形谐振梁。因为它位于微型真空腔中,所以它不与填充液体接触,以确保振动不受空气阻尼的影响。谐振束将压力和差压信号转换为频率信号,并将其发送到脉冲计数器,然后将两个频率之间的差直接传输到cpu(微处理器)进行数据处理,然后通过dash a转换器转换为与输入信号相对应的4~20madc的输出信号,脑/哈特数字信号叠加在模拟信号上用于通信。
横河eja
横河eja测量原理

横河EJA变送器通过单晶硅谐振传感器上的两个H形振动梁将差压和压力信号分别转换为频率信号,并将其发送至脉冲计数器,然后将两个频率之间的差直接发送至CPU(微处理器)进行数据处理,通过D Uniba A转换器将其转换为与输入信号对应的4~20mA DC输出信号,并将BRAIN/HART数字信号叠加在模拟信号上进行通信。隔膜模块中的内置特性校正存储器存储环境温度、静压和传感器的输入/输出特性校正数据。通过PU操作,变送器可以获得优异的温度和静压特性以及输入/输出特性。数据与外部设备(如手持智能终端T200或275和DCS中具有通信功能的Ihamo卡)进行数字通信,即高频2.4kHz(BRAIN)或1.2kHz(HART协议)数字信号叠加在4~20mA的信号线上。去在通信过程中,频率信号4~20mA的信号不会产生任何干扰。

硅压阻变送器

压阻式压力传感器由单晶硅的压阻效应组成。使用单晶硅晶片作为弹性元件,利用单晶硅膜片上的集成电路工艺,在单晶硅的特定方向上扩散一组等效电阻器,电阻器连接成桥,将单晶硅片放置在传感器腔中。当压力变化时,单晶硅产生应变,使其上直接扩散的应变电阻与测量压力成比例地变化,然后通过桥式电路获得相应的电压输出信号。
硅压阻式压力变送器

单晶硅压力变送器所应用的是谐振式,以横河eja压力变送器的代表,硅压阻式变送器是一种扩散硅压力变送器,它们在结构原理上不同,它们的精度和稳定性都非常好。